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曝光机工作原理

时间: 2018-05-12 16:56:00   点击:
  曝光机是20世纪60年初扫描电子显微镜基础发展而来的一种新光刻技术,在70年代后广泛应用于半导体电路板生产制造。曝光机即电子串曝光机,是集电子光学、机械、真空、电气、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。
 
  曝光机基本工作原理:
 
  在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形。根据电路板的线路的粗细来决定上下光源的曝光能量,能量不足电路板无法曝光,要是能量过高电路板就会过曝,所以在曝光电路板时,必须先测试电路板所需的能量,从而进行电路板的曝光生产。
 
  LED曝光机的优点:
 
  1、均匀度90%以上;
 
  2、线路板解析度可达到50μm。
 
  3、节能80%,四年内无需更换灯管,无冷却水消耗;
 
  4、紧密的光学组合,使光源投射的平行半角小于2°;
 
  5、曝光面积为:1000mm×750mm/1300mm×750mm/1500mm×750mm;
 
  6、真空盖板自动升起,避免员工繁重的体力劳动;
 
  7、LED逐点校正系统实时,实时监控每个发光单元的强度状态;
 
  8、超高能量,能有效取代8KW/10KW12KW传统汞灯阻焊曝光机,曝光时间为20秒;

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