您好!欢迎访问章丘市ag亚洲电子设备厂官网

新闻动态

联系ag亚洲

章丘市ag亚洲光学产品厂
电话:
13853139897
传真:
E-mail:
13853139897@163.com
地址:
山东省济南市章丘区双山街道办事处旭升邮电局东100米

旋涂仪操作说明的详细介绍

时间: 2018-04-17 16:45:40   点击:
  旋涂仪的操作说明
 
  1.开机前准备
 
  (1)用丙酮与无尘纸清理之前光阻图布的残余物.
 
  (2)a.选择适合尺寸大小的吸盘(1/2",1",2",3",4",5",6",7",8").
 
  b.将吸盘装上(将吸盘缺口处对准轴心之插梢位置).
 
  c.将样品放在吸盘上(启动前请确定样品放在吸盘正中央的位置).※不可放入破片只能放4吋晶圆,以防光阻倒流入真空吸槽.
 
  2.开机&设定
 
  (1)a.将"POWER"开关打开.
 
  b.将"CONTROL"按钮压下(若没有压下则机台将无法操作).
 
  (2)设定涂布的时间及转速:Step I Timer I:2~18 Sec Speed I:500~2500R.P.M.Step II Timer II:3~60 Sec Speed II:1000~8000R.P.M.
 
  (3)打开真空帮浦开关,并将"VACUUM"按钮压下此时开始抽真空吸附样品.启动"START"前,请确认涂布的时间及转速是否已设定完成.
 
  (4)将光阻剂滴在样品中心的位置.并将上盖盖上,防止意外发生.
 
  (5)压下"START"按钮,此时机台开始依步骤(4)的设定条件依Step I,Step II的顺序开始涂布样品.
 
  (6)待时间完毕后,机台随即停止运转,完成涂布的动作.
 
  3.关机
 
  (1)将"VACUUM"关闭,并将真空帮浦关闭,取下完成样品.
 
  (2)将"CONTROL"按钮及"POWER"开关关闭.PS.此机台有预留废液回收口,可将多余废液排出.
 
  (3)用丙酮清理图布后的光阻痕迹.

分享视频地扯:http://zjjxinjing.com/rccs/349.html (,,KW-4A,12A,服务商,一键滴胶-章丘市ag亚洲网络机厂)
服务于电话:13853139897 E-mail: 13853139897@163.com 地 址:辽宁省商丘市章丘区双山衔道做事处旭升邮电通信局东400米

我们会尽快回复

Copyright © 2018 章丘市ag亚洲电子设备厂 保留所有版权