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国外匀胶机某些特点

时间: 2018-03-20 14:39:00   点击:
  产品特点
 
  1)台式,涂膜厚度范围:100nm~100um;
 
  2)可用于光刻胶(PR),聚酰亚胺(Polyimide),金属有机物(Metallo-organics),搀杂剂(Dopant),硅薄膜(Silica Film),以及大多数的有机溶液、水溶液;
 
  3)紧凑型设计,用户编辑、控制、存储、取出涂胶程序,易于操作;
 
  4)提供±1rpm的高精度转速,加速及减速速率基于设定的时间/转速(Ramp Time/RPM value)自动计算;
 
  5)配置7英寸触控屏及智能操作系统,可以实时监控整个匀胶过程,用户通过前面板显示屏和按钮进行编辑、控制、存储、取出涂胶程序,并进行实验操作。
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